"

uedbet体育网站✅[135e.cn]亚洲最正规遊戏公司✅顶尖原生APP_uedbet体育网站_多款游戏集于一体,非常注重玩家体验|uedbet体育网站|7*24H在线服务|期待您加入我们!

  • <mark id="yzagt"></mark>

        <menu id="yzagt"><tt id="yzagt"></tt></menu>

            1. <menu id="yzagt"><b id="yzagt"></b></menu>

                <form id="yzagt"><th id="yzagt"></th></form>"
                发布需求
                当前位置:忽米设备网 > 工艺试验设备共享 > 感应耦合等离子刻蚀设备

                感应耦合等离子刻蚀设备

                发布日期:10-04 10:02 分类:工艺试验设备共享 阅读次数:125 点击访问移动网站

                • 品牌名称
                • 产品型号
                • 产品提供忽米网
                • 可用服务租赁
                • 我要沟通点击发起询价

                摘要商品名称:感应耦合等离子刻蚀设备商品编号:RS000707品牌:上架时间:2017-12-29商品毛重:0克库存: 10 所属单位:广东省半导体产业技术研究院所在单位仪器编号:2 ...

                商品名称:感应耦合等离子刻蚀设备
                商品编号:RS000707
                品牌:
                上架时间:2017-12-29
                商品毛重:0克
                库存:
                10
                所属单位:广东省半导体产业技术研究院
                所在单位仪器编号:2013050
                所属仪器类型:无
                所属仪器名称:无
                仪器设备来源:购置
                原值(万元):343.10
                产地国别:英国
                生产制造商:英国牛津仪器公司
                规格型号:PlasmaPro System 133ICP380
                启用日期:1/26/2016 00:00:00
                主要技术指标:ICP离子源:0-3000WRF射频源:0-600W样品尺寸:6英寸、4英寸、2英寸及碎片基底刻蚀温度:-20℃-30℃可调刻蚀气体:BCl3、Cl2、SF6、Ar、O2、CHF3可刻蚀材料包括:GaN、Al2O3、SiO2、Si3N4等
                主要功能:ICP刻蚀主要通过高频辉光放电反应,将反应气体解离为活性粒子,轰击刻蚀材料,同时与刻蚀材料进行反应来实现刻蚀。主要用于GaN、Al2O3、SiO2、Si3N4等材料的刻蚀。
                主要学科领域:信息科学与系统科学,物理学,材料科学,能源科学技术
                仪器设备类别:专用
                服务周期:小时
                服务内容:刻蚀GaN、Al2O3、SiO2、Si3N4等材料
                服务成果:暂无
                对外开放共享规定:我院正在制定相关管理制度
                运行状态:正常
                预约服务序号:2013050
                共享模式:外部共享

                文章系作者授权发布原创作品,仅代表作者个人观点,不代表忽米网立场,转载请注明来源。

                微信关注忽米网

                为您提供最新、最全面的工业互联网资讯。

                实时更新全国各地更新最快的工业设备信息。